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1、溫度性能穩(wěn)定

電容式傳感器的電容值一般與電池材料無關(guān)，這有助于挑選溫度指數(shù)低材料，又因自身發(fā)燙很小，影響穩(wěn)定性甚微。而電阻感應(yīng)器有銅損，易發(fā)燙產(chǎn)生零漂。

2、結(jié)構(gòu)緊湊

電感式傳感器結(jié)構(gòu)緊湊，便于生產(chǎn)和確保強(qiáng)的精度，可以做得非常小巧，以實(shí)現(xiàn)某些特殊的測量;能工作在高溫，強(qiáng)輻射及磁場等惡劣的環(huán)境中，能夠承受很大的溫度轉(zhuǎn)變，承擔(dān)高壓力，高沖擊，負(fù)載等;能測量超高溫和低壓差，也能對帶磁工作開展測量。

3、動(dòng)態(tài)回應(yīng)好

電感式傳感器因?yàn)閹щ姌O板間的靜電引力很小(約幾個(gè)10^(-5)N)，需要的功效動(dòng)能很小，又因?yàn)樗囊苿?dòng)部分可以做得很小很薄，即品質(zhì)很輕，所以其原有頻率很高，動(dòng)態(tài)響應(yīng)速度短，能在幾兆赫茲的頻率下工作，尤其適用于動(dòng)態(tài)測量。又由于其介電損耗小可以用較高頻供電，因此系統(tǒng)工作頻率高。它可用以測量高速轉(zhuǎn)變參數(shù)值。

4、能夠非接觸測量且靈敏度高

可非接觸測量回轉(zhuǎn)軸的振動(dòng)或偏心率、小型滾動(dòng)軸承的徑向間隙等。當(dāng)采用非接觸測量時(shí)，電容式傳感器具備均值效用，可以減小工件外表粗糙度對測量的影響。