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1、基本原理是光學(xué)三角法:采用激光三角原理和或回波分析原理進(jìn)行非接觸位置、位移測(cè)量的精密傳感器。廣泛應(yīng)用于位置、位移　、厚度、半徑、形狀、振動(dòng)、距離等幾何量的工業(yè)測(cè)量。半導(dǎo)體激光器1被鏡片2聚焦到被測(cè)物體6。反射光鏡片3收集，投射到CCD陣列4上；信號(hào)處理器5通過三角函數(shù)計(jì)算陣列4上的光點(diǎn)位置得到距物體的距離。2、脈沖法或時(shí)分法：脈沖法測(cè)距的過程是這樣的：測(cè)距儀發(fā)射出的激光經(jīng)被測(cè)量物體的反射后又被測(cè)距儀接收，測(cè)距儀同時(shí)記錄激光往返的時(shí)間。光速和往返時(shí)間的乘積的一半，便是測(cè)距儀和被測(cè)量物體之間的距離。脈沖法測(cè)量距離的精度是一般是在+/-1米左右。另外，此類測(cè)距儀的測(cè)量盲區(qū)一般是15米左右。隨著光電子技術(shù)的發(fā)展，精度在不斷提高，盲區(qū)也在不斷的縮小。3、相位式激光測(cè)距儀：相位式激光測(cè)距儀是用無線電波段的頻率，對(duì)激光束進(jìn)行幅度調(diào)制并測(cè)定調(diào)制光往返測(cè)線一次所產(chǎn)生的相位延遲，再根據(jù)調(diào)制光的波長(zhǎng)，換算此相位延遲所代表的距離。即用間接方法測(cè)定出光經(jīng)往返測(cè)線所需的時(shí)間。相位式激光測(cè)距儀一般應(yīng)用在精密測(cè)距中。由于其精度高，一般為毫米級(jí)，為了有效的反射信號(hào)，并使測(cè)定的目標(biāo)限制在與儀器精度相稱的某一特定點(diǎn)上，對(duì)這種測(cè)距儀都配置了被稱為合作目標(biāo)的反射鏡。